電子半導(dǎo)體廢氣治理需結(jié)合其工藝復(fù)雜、廢氣成分多樣（含酸性
/堿性氣體 、有機溶劑
、特種氣體等）及高安全性要求的特點
，采用分類收集
、分級處理
、深度凈化的組合工藝
，并嚴(yán)格遵循環(huán)保法規(guī)
。以下是具體技術(shù)路徑與管理策略：
一、廢氣特性與治理難點
成分復(fù)雜性
酸性氣體：HF 、HCl
、Cl?（來自蝕刻、清洗工藝）
。
堿性氣體：NH?（來自CVD沉積、擴散工藝）
。
有機廢氣：PGMEA、IPA（光刻膠溶劑）
。
特種氣體：SiH?（硅烷）、PH?（磷化氫）、NF?（三氟化氮
，強溫室氣體）。
治理難點
高毒性/腐蝕性：如Cl?、SiH?泄漏可能引發(fā)爆炸或中毒
。
低濃度大風(fēng)量：部分工藝廢氣濃度低（<100 mg/m³），但總量大。
法規(guī)嚴(yán)格：需滿足《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 39726-2020）及地方特排限值。
二、源頭控制與分類收集
工藝優(yōu)化
替代高危氣體（如用NF?替代CF?減少溫室效應(yīng)）。
密閉化操作（如手套箱、局部排風(fēng)罩）減少無組織排放。
廢氣分類
酸性/堿性廢氣：單獨管道收集，避免中和反應(yīng)放熱。
有機廢氣：與無機廢氣隔離，防止爆炸風(fēng)險。
易燃易爆氣體（如SiH?、H?）：專用防爆管道，設(shè)置緊急切斷閥。
三、預(yù)處理階段
顆粒物去除
高效過濾器（HEPA濾網(wǎng)）：去除0.3μm以上顆粒，保護后續(xù)設(shè)備。
濕式洗滌塔：同步去除水溶性氣體（如NH?）和顆粒物。
溫度/濕度控制
冷凝器：降低廢氣溫度，防止高溫引發(fā)反應(yīng) 。
除霧器：去除水分 ，避免腐蝕管道。
四 、核心處理技術(shù)組合
方案1：酸性/堿性廢氣處理
工藝流程：
堿液噴淋塔（處理HCl 、Cl?）→酸液噴淋塔（處理NH?）→除霧器
關(guān)鍵設(shè)計：
噴淋液循環(huán)使用，定期檢測pH值并補充藥劑 。
塔內(nèi)填料選擇耐腐蝕材料（如PP 、PTFE）。
方案2：含氟廢氣處理
工藝流程：
石灰乳噴淋塔（Ca(OH)?吸收HF）→干式吸附床（活性氧化鋁吸附殘留F?）
優(yōu)勢：石灰乳成本低 ，吸附床可深度凈化至
0.1mg/m³以下 。
方案3：有機廢氣處理
適用場景：低濃度（<500mg/m³）、大風(fēng)量廢氣 。
工藝流程：
沸石轉(zhuǎn)輪吸附→脫附濃縮→蓄熱式熱氧化（RTO）
注意：RTO需防硅烷燃燒產(chǎn)物（SiO?）堵塞蓄熱體 ，需定期高壓空氣反吹
。
方案4：特種氣體處理
SiH?/PH?：
安全燃燒爐（850℃以上徹底氧化）→堿液噴淋（吸收SO?、PO??） 。
NF?：
高溫分解爐（>1200℃）→堿液吸收（生成NaNO?/NaNO?） 。
五、深度凈化與安全措施
應(yīng)急處理
設(shè)置活性炭吸附箱作為安全網(wǎng) ，應(yīng)對濃度波動或設(shè)備故障
。
防爆設(shè)計
管道安裝阻火器、泄爆片，設(shè)備接地防靜電。
有機廢氣處理系統(tǒng)設(shè)置氮氣保護裝置。
副產(chǎn)物資源化
噴淋廢液經(jīng)中和、沉淀后委外處理，或回收有用成分（如氟化鈣）。
六、監(jiān)測與運維管理
在線監(jiān)測系統(tǒng)（CEMS）
實時監(jiān)測HF、HCl、非甲烷總烴等指標(biāo)，數(shù)據(jù)聯(lián)網(wǎng)至環(huán)保部門。
定期檢測
每季度委托第三方檢測特征污染物（如NF?、SiH?）。
設(shè)備維護
噴淋塔每月清理結(jié)垢，RTO蓄熱體每年清灰，催化劑每2年再生。
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