電子半導(dǎo)體廢氣處理應(yīng)該用什么工藝？

當今是以半導(dǎo)體技術(shù)為核心的信息時代，半導(dǎo)體在生產(chǎn)的過程中將會產(chǎn)生大量的有毒有害氣體、有機和無機物等，那電子半導(dǎo)體廢氣處理用什么工藝？

　　電子半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)時會使用顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液等溶劑，而這些溶劑是含有大量的有機物成分。

　　工業(yè)上的有機廢氣處理常用的工藝有：活性炭吸附法、酸堿中和法、燃燒法、催化燃燒法、吸收法、冷凝法等。

　　目前，電子半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣采用吸附、焚燒兩者相結(jié)合的廢氣處理方法。

　　活性炭吸附：其原理是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使廢氣中的氣體成分吸附在固體表面以達到分離的目的，該廢氣處理設(shè)備能夠有效地去除濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備操作方便。

　　焚燒：焚燒的原理是在熱氧化中，有機廢氣流經(jīng)過加熱，氣相中的有機物被氧化，將有機物C02和H20，通常是用于流量穩(wěn)定的、低濃度的氣體。

因電子半導(dǎo)體焚燒的過程中會產(chǎn)生Si02，而Si02會使催化劑鈍化，所以在市場上電子半導(dǎo)體是很少用到接觸氧化的方法。

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