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    [鑫藍(lán)動態(tài)]半導(dǎo)體含砷廢氣處理設(shè)備[
                                        2023-12-29 00:00
                                        ]
    
                                
    
                                      半導(dǎo)體工業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)的重要組成部分，其生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生大量的廢氣
      。其中
      ，含砷廢氣是一種難以處理的有毒廢氣
    ，因其含有高濃度的砷元素
    ，對人體和環(huán)境造成的危害性非常大。因此
    ，半導(dǎo)體含砷廢氣處理一直是工業(yè)領(lǐng)域的難題。

  
半導(dǎo)體含砷廢氣的成分
半導(dǎo)體含砷廢氣的主要成分是砷化氫（sH3）和三甲基砷（TM）
    。其中
    ，砷化氫是一種無色
    、有毒
    、易燃的氣體，具有強的損傷作用
    ，能破壞人體細(xì)胞的DN
    ，導(dǎo)致中毒；而三甲基砷則是一種有機砷化合物
    ，同樣具有毒性。
半導(dǎo)體含砷廢氣的治理方法
    
                                
    
                                    
                                        http://www.hwtyijia.com/Article/bdthsfqclsb_1.html3星
    
                            
    
                        
                    
                    
                    
                    
                    
                    
                    

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