鑫藍(lán)廢氣處理設(shè)備-電子廠涉及的行業(yè)很多 半導(dǎo)體制造工藝 1、電子行業(yè)生產(chǎn)廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法 現(xiàn)在,半導(dǎo)體制造過程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣(VOC)通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理。 2、針對(duì)電子廠廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理,筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是: 將普通的220V/380V交流電通過變壓器,變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓,產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵,斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳,氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子,最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。 3、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn): 放電產(chǎn)生的筒式沸石轉(zhuǎn)輪體中,電子能量高,幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。 反應(yīng)快 采用防腐蝕材料 只需用電 設(shè)備啟動(dòng) 氣阻小,適用于大風(fēng)量的廢氣處理。 4、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路生產(chǎn)企業(yè)、分立器件生產(chǎn)企業(yè)、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。 5、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放特征分析 半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。 6、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來源 半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣,主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序,與半導(dǎo)體制造工藝相比,半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣較為簡單,主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產(chǎn)生的烘烤廢氣。 含毒氣性廢氣,其來源為化學(xué)氣相沉積、干蝕刻機(jī)、擴(kuò)散、離子布值機(jī)及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生 電子廠廢氣處理半導(dǎo)體筒式沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù) 針對(duì)排放的腐蝕性強(qiáng)的氯化氫酸性廢氣 鑫藍(lán)環(huán)保科技(昆山)有限公司多年來專注于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)計(jì) 詳情請(qǐng)撥打24小時(shí)技術(shù)服務(wù)熱線:180-6841-2162 或訪問鑫藍(lán)環(huán)保官網(wǎng):www.hwtyijia.com 鑫藍(lán)環(huán)保微信公眾號(hào):ksxinlan 鑫藍(lán)環(huán)保科技(昆山)有限公司
服務(wù)熱線:4008-616-212
電話:0512-55186759
E-mail:ycw26688@126.com
地址:昆山市千燈鎮(zhèn)紅星路20號(hào)
相關(guān)資訊
同類文章排行