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半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣處理設(shè)備

文章出處:原創(chuàng)網(wǎng)責(zé)任編輯:蔡作者:蔡人氣:-發(fā)表時(shí)間:2025-03-22 00:00:00【

  鑫藍(lán)廢氣處理設(shè)備電子廠涉及的行業(yè)很多

,不同行業(yè)在工藝上有一定差異,產(chǎn)生的廢氣種類也有一定的差異
,今天就從半導(dǎo)體行業(yè)入手為大家介紹電子廠廢氣處理。電子廠半導(dǎo)體廢氣處理主要針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理
,我們嘗試使用筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)
。半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣,主要可以分為
,半導(dǎo)體制造工藝有機(jī)廢氣,和半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣

  

  半導(dǎo)體制造工藝

  1

、電子行業(yè)生產(chǎn)廠家處理有機(jī)廢氣和毒氣的處理方法

  現(xiàn)在,半導(dǎo)體制造過程中排放的含有有機(jī)成分的廢氣VOC通常采用直接焚燒

、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理

  2

、針對(duì)電子廠廢氣處理半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理
,筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是:

  將普通的220V/380V交流電通過變壓器

,變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓,產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓
,釋放出高能電子
,高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵,斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子
、氧原子、氫原子
、氫氧自由基
、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳
,氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子,最終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳(CO2)和水
H2O

  3

、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):

  放電產(chǎn)生的筒式沸石轉(zhuǎn)輪體中

,電子能量高
,幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

  反應(yīng)快

,不受氣速限制

  采用防腐蝕材料

  只需用電

,操作極為簡單。

  設(shè)備啟動(dòng)

、停止十分迅速
,隨用隨開
,常溫常壓下即能使用

  氣阻小,適用于大風(fēng)量的廢氣處理

  4

、電子廠廢氣處理筒式沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域:集成電路生產(chǎn)企業(yè)
、分立器件生產(chǎn)企業(yè)
、光電組件生產(chǎn)企業(yè)。

  5

、半導(dǎo)體企業(yè)廢氣排放特征分析

  半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)

  6

、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒氣的來源

  半導(dǎo)體制造工藝產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣

,主要來源于光刻、顯影
、刻蝕及擴(kuò)散等工序,與半導(dǎo)體制造工藝相比
,半導(dǎo)體封裝工藝產(chǎn)生的有機(jī)廢氣較為簡單
,主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產(chǎn)生的烘烤廢氣

  含毒氣性廢氣

,其來源為化學(xué)氣相沉積
、干蝕刻機(jī)
、擴(kuò)散、離子布值機(jī)及磊晶等制程時(shí)所產(chǎn)生
。主要成分是磷化氫等

  電子廠廢氣處理半導(dǎo)體筒式沸石轉(zhuǎn)輪技術(shù)

,在實(shí)際設(shè)計(jì)中
,需要加洗滌塔作為預(yù)處理裝置,來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣

針對(duì)排放的腐蝕性強(qiáng)的氯化氫酸性廢氣

,采用兩級(jí)堿噴淋塔處理系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行處理。通過對(duì)比產(chǎn)生
、排放濃度和速率可知,該處理系統(tǒng)對(duì)氯化氫酸性廢氣的去除效率可達(dá)95%以上
。電子行業(yè)企業(yè)產(chǎn)生的腐蝕性強(qiáng)
、有毒有害的氯化氫酸性廢氣,可采用兩級(jí)堿噴淋塔凈化工藝
,以達(dá)到高效凈化
、經(jīng)濟(jì)可行
、穩(wěn)定性高的效果

鑫藍(lán)環(huán)保科技(昆山)有限公司多年來專注半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)計(jì)

、制造和安裝
我們產(chǎn)品有RTO蓄熱焚燒RCO蓄熱催化燃燒
、CO催化燃燒
、TO直燃爐、有機(jī)廢氣處理設(shè)備
冷凝回收
防爆除塵器
、酸堿廢氣處理
、濾筒除塵器、
防爆除塵器
、單機(jī)除塵器、倉頂除塵器
、旋風(fēng)除塵
洗滌塔、活性炭吸附
、靜電除油設(shè)備等

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